安徽凌光紅外科技有限公司近日宣布，其自主研發(fā)的商用激光誘導電阻變化設備——LaserSight系列正式發(fā)布，標志著我國在電性失效分析領域實現(xiàn)關鍵技術突破。該設備可精準定位金屬互聯(lián)缺陷、金屬與半導體短路等問題，廣泛應用于集成電路、功率器件及光電器件制造領域，性能指標達到國際先進水平。

作為電性失效分析的三大標準手段之一，激光誘導電阻變化技術（OBIRCH）與熱發(fā)射、光發(fā)射技術并駕齊驅。該技術通過激光束掃描樣品表面，利用電阻變化精準定位缺陷位置，在半導體制造中具有不可替代的作用。然而，自1997年日本企業(yè)首次推出商業(yè)化設備以來，全球市場長期被日本H公司和美國F公司壟斷，兩家企業(yè)合計占據超過80%的市場份額。

凌光紅外此次推出的LaserSight系列設備，成功打破國外技術壁壘。據公司技術負責人介紹，該設備采用自主研發(fā)的光學系統(tǒng)與信號處理算法，在空間分辨率、定位精度等核心參數上達到進口旗艦設備水平。截至目前，已完成多臺設備交付，客戶反饋顯示設備運行穩(wěn)定，能夠有效識別金屬互聯(lián)層中的微米級缺陷。

與同類產品相比，LaserSight系列設備展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢。針對金屬互聯(lián)缺陷檢測場景，其靈敏度較傳統(tǒng)InGaAs探測器提升30%，同時具備更強的抗干擾能力。在功率器件檢測中，設備可清晰分辨金屬與半導體界面的短路點，為工藝改進提供可靠數據支持。目前，該系列已形成完整產品線，覆蓋從研發(fā)到量產的全流程檢測需求。

凌光紅外成立于2021年12月，專注于高端實驗室檢測儀器的國產化研發(fā)。公司核心團隊由半導體設備領域資深專家組成，已成功突破鎖相紅外熱像儀、微光顯微鏡等多項"卡脖子"技術。此次激光誘導定位系統(tǒng)的推出，進一步完善了公司在電性失效分析領域的產品布局，為國內半導體產業(yè)自主可控發(fā)展提供重要支撐。